矿冶工程

作者：姜峰, 谭泽旦, 黄誓成, 方志杰, 陆映东, 覃立仁, 王永清, 曾纪术

单位：1.广西科技大学 机械与汽车工程学院，广西 柳州 545616; 2.广西晶联光电材料有限责任公司，广西 柳州 545036; 3.广西科技大学 电子工程学院，广西 柳州 545006

关键词：模压成型,氧化铟锡,导电薄膜,靶材,常压烧结,电阻率,致密化

基金：国家自然科学基金(11864005)；广西重点研发项目(桂科AB21196007)；广西科技计划项目(桂科AD20159079)；柳州市科技计划项目(2020PAAA0608)

以化学共沉淀-煅烧法制备的纳米ITO粉体为原料，通过模压、冷等静压成型，采用常压烧结法制备了ITO靶材，研究了模压成型压力对ITO靶材相对密度、电阻率和晶粒尺寸的影响。结果表明，模压成型压力60 MPa且烧结条件适宜时，制得的ITO靶材相对密度为99.81%、电阻率为1.707×10^-4 Ω·cm、平均晶粒尺寸为7.62 μm。研究结果可为ITO靶材的致密化与大型化生产提供借鉴。

来源：2024年第1期

《矿冶工程》期刊编辑部

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