矿冶工程

作者：李伟, 余志明, 魏秋平, 夏鑫

单位：1.中南大学 材料科学与工程学院，湖南 长沙 410083; 2.湖南普照信息材料有限公司，湖南 长沙 410205

关键词：铬膜,镀膜,匀胶铬板,直流磁控溅射,针孔缺陷,良率

采用直流磁控溅射镀膜法在石英玻璃衬底制备铬膜，利用SEM和EDS对铬膜层的针孔及周围分别进行了形貌和元素表征，研究了膜层针孔缺陷的成因及管控方法。结果表明，在匀胶铬板生产过程中，不稳定的基片表面会吸附环境中的粉尘颗粒、细菌等杂质，阻挡铬膜的沉积，在杂质去除后形成针孔。采取了以下管控措施: 镀膜前采用浓度3%H₂O₂对清洗机泡槽4 h; 严格遵守操作规范; 加强镀膜机的卫生处理。管控措施实行4个月后，针孔平均密度由之前的7.04个/片减少到3.36个/片，针孔良率提高了约10%。

来源：2021年第2期

《矿冶工程》期刊编辑部

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